關于鋁矽合金靶材性能,制備方法及其應用介紹

日期:2022-07-24 浏覽:640

鋁矽靶材


鋁矽合金靶材是一種用于濺射鍍膜的材料,廣泛應用于半導體、光學、電子等領域。鋁矽合金靶材的主要成分是鋁和矽,具有良好的導電性、導熱性、耐熱性和耐核輻射性。

鋁矽靶材特征
鋁矽靶材形狀:平面靶 異型定制
鋁矽靶材純度:3N,5N
鋁矽靶材尺寸:按圖紙加工或者定制
我們還可以提供鋁矽合金塊、鋁矽合金錠、鋁矽合金粉等

一種鋁矽合金靶材的制備方法

鋁矽靶材成分表


将鋁矽鑄錠依次在鋁矽鑄錠的長度方向、鋁矽鑄錠的寬度方向和鋁矽鑄錠的厚度方向進行鍛壓,鍛壓包括依次進行的墩粗和拔長,墩粗的變形量爲鋁矽鑄錠墩粗前的對應方向上長度的40-60%,拔長的變形量爲鋁矽鑄錠拔長前的對應方向上長度的100-120%,鍛壓次數爲9-12次,每次鍛壓後進行2-5min水冷,鍛壓結束後得到鍛後靶坯;

第一熱處理,熱處理的升溫速率爲8-12℃/min、溫度爲300-350℃、時間爲10-30min,之後進行水冷。

軋制,軋制的參數爲5-10mm/道次,軋制的總變形量爲鍛後靶坯的70-90%。

第二熱處理,第二熱處理的升溫速率爲8-12℃/min、溫度爲350-400℃,時間爲10-30min,之後進行水冷。後進行機加工得到鋁矽靶材。

該方法制備的鋁矽靶材,優化了内部晶粒組織,制備的靶材晶粒細小均勻,将其平均晶粒尺寸控制在95μm以下,尤其可以控制在58μm以下,且晶粒尺寸變化範圍在25μm之内;将靶材用于濺射鍍膜時可提高濺射速率和成膜均勻性及緻密性。

鋁矽合金靶材應用
半導體關聯靶材:鋁矽合金靶材在半導體器件中用作電極、布線薄膜等。
存儲器電極薄膜:鋁矽合金靶材可用于制造存儲器電極薄膜。
粘附薄膜:鋁矽合金靶材在粘附薄膜中也有應用。
電容器絕緣膜薄膜:鋁矽合金靶材可用于制造電容器絕緣膜薄膜。

鋁矽合金應用
航空和交通領域:鋁矽合金因其輕質和高強度的特性,被廣泛用于航空航天器的結構件制造。在交通運輸領域,尤其是在汽車行業,這種合金用于制造發動機部件、散熱器以及車身結構等,以提高燃油效率并降低排放。
建築行業:在建築行業,鋁矽合金用于制造門窗框架、幕牆材料等,這些應用利用了合金的耐腐蝕性和良好的機械性能。
電子産品:鋁矽合金也用于電子産品中的散熱器,因爲它具有良好的熱導性,可以幫助散發電子設備産生的熱量。
鋼鐵冶煉:在鋼鐵冶煉過程中,矽鋁合金用作脫氧劑,有助于提高鋼的質量。它的使用可以降低煉鋼過程中的燒損,并且與純鋁相比,矽鋁合金的利用率更高。
制造複雜鑄件:鋁矽合金适用于生産形狀複雜的中低強度鑄件,如蓋闆、電機殼、托架等。此外,它還可以作爲釺焊焊料,用于連接金屬部件。


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